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小型離子濺射儀

產品簡介

小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。

產品型號：KT-1650PVD
更新時間：2024-03-27
廠商性質：生產廠家
訪問量：1247
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品牌鄭科探應用領域電子


      鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。

   小型離子濺射儀通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。


控制方式


7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1000W

最大輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤10Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  （最大可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




                                                                                                                                                                                                                          














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