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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-Z4019MRL4T真空電阻測試臺

真空電阻測試臺

產品簡介

真空電阻測試臺,一體式不銹鋼腔體,手動調節探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。高低溫配置。

產品型號:KT-Z4019MRL4T
更新時間:2024-04-30
廠商性質:生產廠家
訪問量:1314
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品牌鄭科探

一、真空電阻測試臺的原理介紹:
(1)一體式不銹鋼腔體,手動調節探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。
(2)高低溫配置,KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺,結構小巧,功能使用,成本較低,可以滿足基本實驗的要求。
(3)特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構,使得探針部分能從整個探針臺系統中獨立出來,可以應用于輻照實驗中,該探針臺也可放置高低溫箱中,用于芯片的三溫測試。
(4)多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒,增加了抗干,擾,能力,其測試數據更加準確。
真空電阻測試臺

二、真空電阻測試臺KT-Z4019MRL4T技術參數:

真空腔體

類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃   室溫到-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm)

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃   室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min    低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針(可擴展5探針)

探針材質

鍍金鎢針 (其他材質可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉探針桿)

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm(需手動螺紋調節探針桿)


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